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一种生长Fe掺杂单层WS2二维晶体的方法

一种生长Fe掺杂单层WS2二维晶体的方法            CN202010096253.9             发明       转让/许可

本发明涉及一种生长Fe掺杂单层WS2二维晶体的方法,属于无机半导体纳米材料制备的技术领域,其包括以下步骤:以Fe2O3、NaCl、WO3、S为原料,在多温区管式炉里面以Si/SiO2为基底,通过S单质对WO3及Fe2O3同时硫化,共同参与成键,使Fe取代部分WS2单层二维晶体中W的位置,通过化学气相沉积的方式制备得到Fe掺杂单层WS2二维晶体。本发明所述的方法步骤简单、操作方便,合成速度快且成本低,制备得到的Fe掺杂单层WS2二维晶体结晶性好,化学及热力学性能稳定。

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